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放電の持続   
一旦開始した放電は、どのようにして持続されるのか? 電離で発生した2個の電子は、次の分子に衝突し、分子を電離させる。 
そして、次々に電離が進む。 これを、「
α作用 」と呼ぶ。高周波(13.56MHz)を印加する場合は、極性が短時間(37ns)で逆転する。 そのため、電極間gapが電子の移動距離より大きいと、電極間を往復する電子が発生する。そして、α作用だけでも放電の維持ができる。  
陰極にionが衝突し、そこから電子が放出される(2次電子)ことがある。これを「
γ作用 」と呼ぶ。glow放電では、γ作用により電子が供給され、それがα作用で増殖し、放電が維持される。電極gapが小さくても、γ作用により電子が供給されて放電が維持する。(γ作用で1つの電子放出されるには、10個以上のionがぶつかっている(電子放出率は「約 1/10 」))arc放電では、陰極が加熱されて「 熱電子 」が多数放出され、大電流が流れる。また、気体分子・原子の温度が高くなるため「 熱電離 」が主に起こる。
Plasmaを形成する際、真空にするのはなぜか?    
通常、Dry Etchingの目的などでPlasmaを形成する時には、数Paの低圧力にしている。これは、安定にglow放電を開始し、維持するためには低圧力であることが必要だからである。平行平板の電極間で、電子はどの場所でも一定の力(F = e・E0・sin(ωt))を受ける。電子は、電場から受けるこの力で加速される。    
よって、衝突までの距離が長い方が、衝突のenergyは大きくなる。大気ではgas分子が多すぎ、電子が十分加速される前に分子と衝突するので、分子を電離できない。 従って、大気では放電できない。
 放電開始
  最初に十分加速された電子があれば、α作用で電離が維持できる。
  では、最初の電子はどこからくるのか?
  いろんな説がある。
   ・地上には、高energyの放射線(宇宙線)が降り注いでいるため、常にある程度の電離した電子がある。
  これもその中の1つである。
  実際、filamentなどで熱電子を供給しなくても、高周波を印加しただけで放電を開始する。
  だから、何らかの理由で電離した電子が存在しているのは間違いない