放電の持続 　　
一旦開始した放電は、どのようにして持続されるのか？電離で発生した2個の電子は、次の分子に衝突し、分子を電離させる。　
そして、次々に電離が進む。これを、「 α作用」と呼ぶ。高周波（13.56MHz）を印加する場合は、極性が短時間（37ns）で逆転する。そのため、電極間gapが電子の移動距離より大きいと、電極間を往復する電子が発生する。そして、α作用だけでも放電の維持ができる。　
陰極にionが衝突し、そこから電子が放出される（2次電子）ことがある。これを「 γ作用」と呼ぶ。glow放電では、γ作用により電子が供給され、それがα作用で増殖し、放電が維持される。電極gapが小さくても、γ作用により電子が供給されて放電が維持する。（γ作用で1つの電子放出されるには、10個以上のionがぶつかっている（電子放出率は「約 1／10 」））arc放電では、陰極が加熱されて「熱電子」が多数放出され、大電流が流れる。また、気体分子・原子の温度が高くなるため「熱電離」が主に起こる。
Plasmaを形成する際、真空にするのはなぜか？　　
通常、Dry Etchingの目的などでPlasmaを形成する時には、数Paの低圧力にしている。これは、安定にglow放電を開始し、維持するためには低圧力であることが必要だからである。平行平板の電極間で、電子はどの場所でも一定の力（F = e・E0・sin（ωt））を受ける。電子は、電場から受けるこの力で加速される。　　　
よって、衝突までの距離が長い方が、衝突のenergyは大きくなる。大気ではgas分子が多すぎ、電子が十分加速される前に分子と衝突するので、分子を電離できない。従って、大気では放電できない。

　放電開始
　　最初に十分加速された電子があれば、α作用で電離が維持できる。
　　では、最初の電子はどこからくるのか？
　　いろんな説がある。
　　　・地上には、高energyの放射線（宇宙線）が降り注いでいるため、常にある程度の電離した電子がある。
　　これもその中の1つである。
　　実際、filamentなどで熱電子を供給しなくても、高周波を印加しただけで放電を開始する。
　　だから、何らかの理由で電離した電子が存在しているのは間違いない