容量結合プラズマ（CCP)の1次元シミュレーション
プラズマのシミュレーションのベンチマークとも言うべきCCPの１Dシミュレーションです．
条件は放電周波数13.56MHz、印加電圧400V、電極間距離　50mm、圧力50ｍTorrです．


　電位の位相変化：
　　　 z＝0の位置が電極で振幅４００Vの交流電圧が
　　　印加されています．位相変化にもかかわらず
　　　バルク（中央の領域）は常に0以上の電位が
　　　維持されているのに注目してください．
　　　
電場の位相変化：
　　電位の勾配（変化量)が電場です．電位の変化に
　　追随して大きさが変化しています．　バルクでは
　　電場がほとんど０で
　　電気的中性が保たれているのが分かります．
　

電子密度の位相変化：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　電子は電極付近の電位が上がった時のみ
　　　電極に侵入できます．
　　　イオンと比べて軽いため左右に振られています．
イオン密度の位相変化:
　　イオンは電子に比べて重いのでほとんど動きません．
　　壁面付近でも壁面に入射するイオンのため
　　密度を持っています．


電子温度(エネルギー）の変化：
　位相変化に合わせてシース端で大きなエネルギーを
　持つことが分かります．　これがCCPの
　　放電維持機構の一つである統計加熱
　　(フェルミ加熱）です．（波乗り効果ともいう)
　　シースの振動により電子が加速されます．
　　
イオン温度(エネルギー）の変化：
　イオンはやはり重いので位相変化はあまり受けません．
　シースの時間平均電位に加速されて壁面に入射して
　いくためシース内でのみエネルギーを持っています．