×

[PR]この広告は3ヶ月以上更新がないため表示されています。
ホームページを更新後24時間以内に表示されなくなります。


 容量結合プラズマ(CCP)の1次元シミュレーション
プラズマのシミュレーションのベンチマークとも言うべきCCPの1Dシミュレーションです.
条件は放電周波数13.56MHz、印加電圧400V、電極間距離 50mm、圧力50mTorrです.


 電位の位相変化:
    z=0の位置が電極で振幅400Vの交流電圧が
   印加されています.位相変化にもかかわらず
   バルク(中央の領域)は常に0以上の電位が
   維持されているのに注目してください.

   

電場の位相変化:
  電位の勾配(変化量)が電場です.電位の変化に
  追随して大きさが変化しています. バルクでは
  電場がほとんど0で
  電気的中性が保たれているのが分かります.

 

電子密度の位相変化:                      
   電子は電極付近の電位が上がった時のみ
   電極に侵入できます.
   イオンと比べて軽いため左右に振られています.

イオン密度の位相変化:
  イオンは電子に比べて重いのでほとんど動きません.
  壁面付近でも壁面に入射するイオンのため
  密度を持っています.



電子温度(エネルギー)の変化:
 位相変化に合わせてシース端で大きなエネルギーを
 持つことが分かります. これがCCPの
  放電維持機構の一つである統計加熱
  (フェルミ加熱)です.(波乗り効果ともいう)
  シースの振動により電子が加速されます.

  

イオン温度(エネルギー)の変化:
 イオンはやはり重いので位相変化はあまり受けません.
 シースの時間平均電位に加速されて壁面に入射して
 いくためシース内でのみエネルギーを持っています.